VIP会員
CS 200 H質量流量制御器&流量計
CS 200 Hガス質量流量制御は七星流量計で生産されたデジタル型高温製品であり、その電気と機械部分は別体式の設計を採用し、高温ケーブル接続により、高温環境下での作業を実現でき、複雑で変化の多い半導体測定の需要を満たすことができる。
製品の詳細
利点
•コントローラ動作温度：90～120℃。
•高制御精度：製品精度は±1.0%S.P.（≧35%F.S.）に達することができる。
•高速応答、応答時間≦0.8 sec。
•定電力センサーの原理を採用し、温度変化時に相応の補償を行い、根本的に流量計のゼロフロー現象を抑制し、センサーの線形性を保証した。
•ハイエンド製品は専用の金属表面処理技術を採用し、ガスと接触する表面金属材料はすべて316 LVVを使用し、CS 200製品の金属表面粗さはさらに10 RA以下に達し、SEMI基準に厳格に従って生産製造する。
•±8 V～±16 Vデュアル電源をサポート、+14 V ~+28 V単電源給電、デジタル、アナログ入出力。
•製品サイズは国際共通のSEMI規格、RS 485、DeviceNet通信方式に適合している。
技術パラメータ
|
CS200 |
||
|
モデル |
CS200-H |
|
|
バルブタイプ |
常閉 |
なし |
|
流量仕様（N 2） |
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
|
|
せいど |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
|
|
線形 |
±0.5% F.S. |
|
|
くりかえしせいど |
±0.2% F.S. |
|
|
レスポンス時間 |
≤ 1sec |
|
|
作動差圧範囲 |
0.05～0.35 MPa流量規格≦10 SLM |
＜0.02 MPa |
|
さいだいどうさあつりょく |
0.45MPa |
|
|
おんどけいすう |
ゼロ：≦±0.1% F.S./℃；調整時：≤±0.1% F.S./℃ |
|
|
たいあつりょく |
3MPa |
|
|
ろうえいりつ |
1×10-11Pa·m3/ sec He |
|
|
シール材 |
メタルシール |
|
|
動作環境温度 |
質量流量制御器/流量計：（90～120）℃、制御ボックス：（0～50）℃ |
|
|
にゅうりょくしんごう |
数値:RS 485またはDeviceNet |
なし |
|
しゅつりょくしんごう |
数字：RS 485またはDeviceNet |
|
|
ゼロフロー |
ゼロ補正がない場合＜0.6%F.S.／年 |
|
|
電源装置 |
±8～±16 VDC（双極）または+14～+28 VDC（単極） |
|
|
ひょうめんかがくせいぶん |
Cr/Fe比率≧2.0、CrO厚さ≧20（Å） |
|
|
ひょうめんあらさ |
10 Ra |
|
|
標準ジョイント形式 |
ダブルブッシュφ6、ダブルジャケット1/4、VCR 1/4雄継手、1.5´C型シール継手 |
|
|
電源コネクタ形式 |
D型9ピン雄継手、D型15ピン雄継手、DeviceNetコネクタ |
|
|
高温ケーブルを接続する |
2m |
|
|
じゅうりょう |
1.2Kg |
1Kg |
QRコードをスキャンして携帯で見る
オンライン照会
-
連絡する
-
単位
-
電話番号
-
Eメール
-
ウィーチャット
-
認証コード
-
メッセージの内容
-